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MKS是全球最著名的先進生產(chǎn)工藝控制設備供應商之一，其產(chǎn)品廣泛地應用于各種半導體器件、平板顯示器、太陽能電池、LED、光學儲存介質、玻璃鍍膜、光電產(chǎn)品等生產(chǎn)設備及制藥和醫(yī)學成像設備。MKS前瞻性的創(chuàng)新開發(fā)，推動其產(chǎn)品一直處于全球技術領先地位。深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司專門經(jīng)銷美國和歐洲等國家的工業(yè)產(chǎn)品，經(jīng)營產(chǎn)品類別和品牌多樣齊全，方便用戶可以一站式采購。特別的那些不好尋找的歐美工業(yè)產(chǎn)品備件。公司多年來不斷積累拓展和優(yōu)化供應渠道，與品牌供應商建立了良好的合作關系，所以拿到的價格也非常優(yōu)勢。以下是我們?yōu)槟榻B的《美國MKS真空計_MKS真空計901P-11030》相關信息。
1、美國MKS真空計概述
美國MKS真空計901P-11030 Micro Pirani-Piezo Loadlock真空傳感器結合了Piezo和MicroPirani™傳感器技術，與傳統(tǒng)熱導計相比，精度、穩(wěn)定性、可重復性和響應時間顯著提高。它具有0.00001-1000 Torr壓力測量范圍、大氣切換功能以及尺寸為NW16 ISO-KF的法蘭。它使用RS232數(shù)字通信接口來設置傳感器參數(shù)并提供實時壓力測量。901P專為真空負載鎖內的壓力測量而設計。它具有從大氣到10-5 Torr的絕對壓力測量和大氣切換功能，能夠取代負載鎖上的多個壓力測量設備。與傳統(tǒng)負載室設計中使用的壓力表相比，901P精確的大氣壓力測量可以通過更快的循環(huán)時間來提高負載室性能，并防止負載室受到大氣污染。
2、美國MKS真空計功能
美國MKS真空計901P結合了絕壓和差壓測量技術，提供卓越的性能和功能。901P提供獲得專利的、獨立于氣體的絕對壓力測量（50-1000 Torr），并且比熱導率傳感器具有更高的精度。與傳統(tǒng)的皮拉尼真空計不同，MicroPirani™中的傳感器元件由一毫米見方的硅芯片制成，允許在非常小的體積內進行測量。由于采用了MicroPirani™技術，901P可以讀取低至10-5 Torr的壓力，比標準皮拉尼傳感器低二十個百分點。傳感器設計最大限度地減少了對流的影響，因此901P可以以任何方向安裝，而不會影響精度。
3、美國MKS真空計原理
美國MKS真空計901P還具有1VDC/十倍頻的模擬壓力輸出，可連接到外部模擬設備以進行壓力讀數(shù)或控制。其他模擬輸出和曲線可以通過數(shù)字用戶界面選擇。輔助可選模擬輸出用于提供壓差測量。901P具有多達三個機械繼電器，可用于過程控制，例如聯(lián)鎖隔離閥和真空泵。每個設定點均可分配給差分壓電測量或組合絕對MicroPirani™/壓電測量。901P緊湊的設計顯著減少了真空計占用的空間。
4、美國MKS真空計規(guī)格
①絕對測量范圍：1.0 x 10-5至1500托
②差分測量范圍：-760至+760托
③數(shù)字通訊：RS232
④類型：真空傳感器
⑤密封材料：氟橡膠
⑥美國MKS真空計外殼：標準
⑦電氣連接器：15針、高密度、D-sub公頭
⑧美國MKS真空計界面：RS232/模擬
⑨配件類型：NW16 ISO-KF
⑩美國MKS真空計安裝方向：任何
5、美國MKS真空計技術參數(shù)
①美國MKS真空計模擬輸出：1-9 VDC
②美國MKS真空計模擬輸出分辨率：16位
③可選模擬輸出：25 VDC=0 Torr，1 VDC/十倍頻程
④繼電器觸點額定值：1 A 30VAC/DC，電阻式
⑤美國MKS真空計繼電器響應最長：100毫秒
⑥電源要求：9-30 VDC，最大<1.2瓦
⑦壓電微分重復性：-760至10 Torr±1%讀數(shù)
⑧壓電差動零穩(wěn)定性：滿量程的±0.1%（滿量程=760 Torr）
⑨超壓限制：1500托（絕對）
⑩暴露的材料：硅、SiO2、Si3N4、金、低釋氣環(huán)氧樹脂、304不銹鋼、Viton
?電子外殼及法蘭：304不銹鋼
?美國MKS真空計模擬輸出2分辨率：12位
?數(shù)字波特率：4800-230400波特率
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