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當(dāng)美國MKS的客戶有復(fù)雜的問題需要解決時(shí)，他們會(huì)求助于MKS作為值得信賴的合作伙伴。他們?yōu)槎嗄陙碓诩夹g(shù)和應(yīng)用程序合作中精心培養(yǎng)的牢固關(guān)系感到自豪。由于建立在相互信任之上的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)，他們擁有強(qiáng)大管道的客戶讓他們參與他們的新計(jì)劃。他們認(rèn)為這是一項(xiàng)崇高的榮譽(yù)。他們還與供應(yīng)商密切合作。這是他們開展業(yè)務(wù)的方式，也是他們的投資，以確保他們的供應(yīng)鏈能夠在客戶需要時(shí)提供關(guān)鍵產(chǎn)品。他們創(chuàng)造的解決方案將未來變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)——這就是推動(dòng)可能性邊界的全部意義所在。當(dāng)今最激動(dòng)人心的技術(shù)，如5G、人工智能、增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)和自動(dòng)駕駛汽車，都得益于他們廣泛的真空產(chǎn)品、電源解決方案、氣體輸送、等離子體生成、臭氧解決方案、激光、光子學(xué)、精密光學(xué)、運(yùn)動(dòng)和PCB激光加工。深圳市華聯(lián)歐國際貿(mào)易有限公司專業(yè)從事工業(yè)自動(dòng)化備品備件的銷售，優(yōu)惠促銷MKS控制器產(chǎn)品，價(jià)格低，貨期短，質(zhì)量有保證，采購MKS控制器，就選深圳華聯(lián)歐，我們會(huì)您提供最優(yōu)質(zhì)的服務(wù)！以上就是我們?yōu)槟榻B的MKS控制器,美國MKS控制器，感謝閱讀！
1、美國MKS控制器產(chǎn)品介紹
使用DELTA™流量比控制器(FRC)，優(yōu)化過程性能變得更加容易。DELTA™流量比控制器(FRC)廣泛用于各種分流應(yīng)用，例如蝕刻、剝離和PECVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室的不同區(qū)域。DELTA™II流量比例控制器以用戶指定的比例分配和控制混合工藝氣體流向工藝室內(nèi)的多個(gè)腔室或區(qū)域，從而最大限度地提高工藝均勻性和可重復(fù)性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet™通信。
2、美國MKS控制器產(chǎn)品特征
①分配和控制流向兩個(gè)腔室或區(qū)域的工藝氣體
②用于在運(yùn)行期間監(jiān)控設(shè)備的嵌入式以太網(wǎng)
③模擬、EtherCAT®或DeviceNet™通信
④更寬的動(dòng)態(tài)控制范圍，可實(shí)現(xiàn)低至5%滿量程流量的比率控制
⑤獲得專利的控制算法可實(shí)現(xiàn)更快的響應(yīng)比設(shè)定點(diǎn)
⑥使用標(biāo)準(zhǔn)網(wǎng)絡(luò)瀏覽器-無需特殊軟件
3、美國MKS控制器產(chǎn)品優(yōu)勢
DELTA II具有更寬的動(dòng)態(tài)比率控制范圍，更能適應(yīng)不同的刀具和工藝條件。MKS開發(fā)了一種獨(dú)特的正在申請(qǐng)專利的比率控制算法，使比率和流量響應(yīng)時(shí)間小于兩(2)秒。這種控制算法還支持20比1的比率控制范圍，是其行業(yè)領(lǐng)先前身的兩倍多。DELTA II的診斷功能允許用戶在現(xiàn)場檢查DELTA的性能，通過減少“未發(fā)現(xiàn)問題”設(shè)備的移除來降低成本。此功能通過通過設(shè)備的以太網(wǎng)端口訪問的Web瀏覽器實(shí)用程序啟用。該實(shí)用程序使用標(biāo)準(zhǔn)的網(wǎng)絡(luò)瀏覽器——不需要特殊軟件。訪問時(shí)，可通過設(shè)備高亮LED顯示屏訪問IP地址。
4、美國MKS控制器產(chǎn)品信息
DELTA II廣泛用于各種分流應(yīng)用，如蝕刻、剝離和CVD，使用戶能夠?qū)怏w或氣體混合物分配到工藝室中的兩個(gè)不同區(qū)域。向DELTA II發(fā)送氣體（或任何混合物）和比率設(shè)定點(diǎn)，DELTA II將自動(dòng)且精確地將氣體分成兩個(gè)獨(dú)立的輸出通道。吞吐量和過程控制一直是半導(dǎo)體器件制造商的關(guān)鍵。隨著300毫米晶圓和雙工藝室的出現(xiàn)，控制氣流分布的新方法變得越來越需要。300毫米晶圓加工通常需要對(duì)整個(gè)晶圓的氣體分布進(jìn)行可調(diào)控制，以提供更好的工藝均勻性。雙工藝室需要適當(dāng)?shù)臍怏w分布，以便與單源氣體面板的室匹配。
5、美國MKS控制器產(chǎn)品技術(shù)數(shù)據(jù)
①最大工作出口壓力：200托
②最大允許出口壓差：50托（Q1和Q2之間）
③正常工作壓差：<150托（對(duì)于10000/10000，<450托）（N2）
④證明壓力：1000磅/平方英寸
⑤爆破壓力：1500磅/平方英寸
⑥輸入流量范圍：每個(gè)通道的5到100%滿量程額定值（N2等效）
⑦比率控制范圍：1:1到20:1和20:1到1:1
⑧比率精度：比率設(shè)定點(diǎn)的2%
⑨典型精度：比率設(shè)定點(diǎn)的0.3%
⑩比率重復(fù)性和再現(xiàn)性：通道滿量程的0.02%
?零溫度系數(shù)：0.05%滿量程/°C
?跨度溫度系數(shù)：0.08%讀數(shù)/°C
?熱身時(shí)間：30分鐘
?工作溫度：10至40°C
6、美國MKS控制器產(chǎn)品部分型號(hào)
①美國MKS控制器DELTA™IV 4
②美國MKS控制器DELTA™II
③美國MKS控制器DLT2A2
④美國MKS控制器DLT2B
⑤美國MKS控制器DLT2A1
⑥美國MKS控制器DLT3B
⑦美國MKS控制器DLTNA3
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