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Rohsonics超聲波傳感器,Rohsonics分析儀,Rhosonics密度計(jì)
瀏覽次數(shù):465      發(fā)布于:2023-10-09
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從一開始,Rohsonics就一直在進(jìn)行研究和設(shè)計(jì),以創(chuàng)造市場(chǎng)上最好的技術(shù)濃度和密度分析儀,Rohsonics的測(cè)量?jī)x器可用于許多最關(guān)鍵和最苛刻的應(yīng)用。例如,這些儀器用于疏浚船上、礦物加工廠的密度測(cè)量,以及電子/半導(dǎo)體行業(yè)中三元或四元液體中的濃度測(cè)量。


Rohsonics正在幫助礦物加工行業(yè)創(chuàng)造一個(gè)安全、愉快的工作環(huán)境。Rhosonics通過提供用于漿料密度測(cè)量的非核技術(shù)來做到這一點(diǎn)。Rhosonics的超聲波密度計(jì)消除了與輻射源設(shè)備相關(guān)的所有成本、健康和安全風(fēng)險(xiǎn)。此外,該設(shè)備易于使用,無需任何許可證,并提供可靠的密度值來監(jiān)控和提高生產(chǎn)輸出。在越來越多的工業(yè)應(yīng)用中,密度測(cè)量不再需要使用輻射源。

Rohsonics開發(fā)了超聲波SDM密度計(jì),以準(zhǔn)確可靠地測(cè)量礦漿的密度。Rohsonics在磷酸鹽、金、銀、鐵礦石和許多其他礦物加工操作的采礦泥漿在線測(cè)量方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)。在線密度測(cè)量對(duì)于監(jiān)測(cè)分離過程非常有用,尤其是當(dāng)您考慮如果產(chǎn)品不一致或質(zhì)量太低時(shí)會(huì)發(fā)生什么。應(yīng)用示例包括研磨回路中的密度測(cè)量、浮選回路和濃縮工藝等。

Rhosonics的超聲波技術(shù)通過同時(shí)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)多種化學(xué)品濃度,可以更好地監(jiān)督過程。 技術(shù)的選擇取決于需要測(cè)量的化學(xué)溶液中的濃度,Rhosonics的測(cè)量精度可達(dá)0.0001重量±%。值得一提的是,Rhosonics技術(shù)可用于以下領(lǐng)域的一些主要化學(xué)品或化學(xué)濃度:

清潔和拋光:CMP漿料,H2O2,HF,NH3,BHF,KOF,HNO3,SC1,SC2,APM,食人魚溶液,HCl,C6H8O7:H20,王水,碘溶液,鹽酸,HNO3,C3H8O(異丙醇),C3H6O(丙酮),(CH3)2CHOH,APM

光刻膠和剝離:TMAH, TMAH + PR + CO3, H2SO4:H2O2, SPM, H2Ta2O6, 二甲基亞砜 (DMSO), CeO2

蝕刻:四甲基氫氧化銨,四甲基銨+ PR + CO3,TBHA,H2SO4,HF,HNO3,KOH,C2HCl3,海航

使用Rhosonics超聲波技術(shù)可以虛擬測(cè)量生產(chǎn)過程中任何類型的化學(xué)品或固體溶液。除了半導(dǎo)體應(yīng)用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝,其中Rhosonics技術(shù)也可以應(yīng)用。超聲波技術(shù)可以虛擬測(cè)量生產(chǎn)過程中任何類型的化學(xué)品或固體溶液。除了半導(dǎo)體應(yīng)用外,太陽能電池板和平板顯示器也有類似的工藝。


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Rhosonics幫助平板顯示器行業(yè)使用超聲波技術(shù)進(jìn)行在線實(shí)時(shí)測(cè)量,通過該技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)過程優(yōu)化,從而實(shí)現(xiàn)更安全、更可靠、可持續(xù)和具有成本效益的操作,這就是Rhosonics為智能和綠色世界做出貢獻(xiàn)的方式。

Rhosonics分析為化學(xué)混合中的在線分析提供解決方案,在線分析儀服務(wù)于幾乎所有電子行業(yè),可用于以下應(yīng)用:

LCD和TFT制作

Rhosonics在線過程分析儀廣泛用于LCD平板顯示器的生產(chǎn)。在這個(gè)行業(yè)中,使用蝕刻劑(ITO-Etch),剝離劑和顯影劑(如TMAH)。光刻膠的測(cè)量在這個(gè)行業(yè)中變得越來越重要。

羅索尼斯開發(fā)了一種用于測(cè)量TMAH+PR的特殊儀器(CCM B32),剝離劑用于去除光刻過程中殘留的光刻膠,檸檬酸通常用作乙酸的替代品,醋酸通常會(huì)在暗室中留下強(qiáng)烈的氣味。Rhosonics能夠在線測(cè)量這些液體。洗滌劑和表面活性劑可以很容易地測(cè)量。


光刻

在平板顯示器過程中,濃度測(cè)量對(duì)于防止清潔或濕法蝕刻過程中出現(xiàn)問題非常重要。

• 清洗步驟 在工藝步驟

之后,應(yīng)用化學(xué)品清潔使用的材料,以防止在下一步中污染。清潔步驟的目標(biāo)是去除先前步驟中可能影響后續(xù)步驟性能的殘留物。清潔化學(xué)品應(yīng)具有正確的濃度,以有效清潔晶圓表面。否則,晶圓可能含有不需要的有機(jī)/無機(jī)材料。 未正確清潔的晶圓在生產(chǎn)線完成后將無法達(dá)到所需的質(zhì)量。因此,該產(chǎn)品將被計(jì)為有缺陷的產(chǎn)品或作為低性能芯片出售。

• 開發(fā)步驟

裸露的晶圓在浸浴中或通過噴涂進(jìn)行顯影。暴露區(qū)域?qū)⒈灰瞥虮A簦唧w取決于抗蝕劑類型(負(fù)或正)。此步驟對(duì)于創(chuàng)建完美的抗蝕劑圖案以控制基板的哪個(gè)部分將被蝕刻非常重要。正抗蝕劑或負(fù)極抗蝕劑模式應(yīng)與預(yù)期相同,否則,在下一步中將去除基材的錯(cuò)誤區(qū)域,從而導(dǎo)致無效產(chǎn)品。 與光刻工藝的每個(gè)生產(chǎn)步驟一樣,精度是在開發(fā)階段實(shí)現(xiàn)預(yù)期結(jié)果的關(guān)鍵。光刻膠顯影劑(例如TMAH)的濃度應(yīng)保持在最佳范圍內(nèi),以有效去除預(yù)期區(qū)域中的光刻膠。

例如,典型的四甲基氫氧化銨溶液應(yīng)保持在2.38%-2.62%的濃度之間。實(shí)時(shí)和準(zhǔn)確的分析儀將有助于控制化學(xué)性質(zhì)并進(jìn)行有效操作。

• 濕法蝕刻步驟

濕法蝕刻(或各向同性蝕刻)是一種快速蝕刻材料的方法。在濕法蝕刻工藝中,不同類型的化學(xué)品用于在某些材料(通常是硅晶片)的基板上創(chuàng)建圖案?,F(xiàn)在的趨勢(shì)是更小、更緊湊的芯片組,因此這個(gè)過程的挑戰(zhàn)是使用正確的化學(xué)濃度在基板中精確地創(chuàng)建更復(fù)雜的圖案。


Rhosonics CDM代表基于化學(xué)的漿料密度計(jì),該類別的儀器允許實(shí)時(shí)測(cè)量密度。CDM 采用堅(jiān)固的設(shè)計(jì),傳感器由高耐腐蝕和耐磨材料制成,可承受惡劣的工藝條件。

化學(xué)密度計(jì)可用于各種需要測(cè)量化學(xué)漿液或液體的應(yīng)用。使用該技術(shù)的一些行業(yè)是:

• 采礦

• 礦石精煉廠

• 紙漿和造紙

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