SPORLAN流量控制器GP200系列
瀏覽次數(shù):498 發(fā)布于:2023-05-08
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器,專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本,因?yàn)樗藢?duì)壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。性能特點(diǎn)較低的入口壓力操作
下游閥結(jié)構(gòu)
匹配的瞬態(tài)響應(yīng)深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司工業(yè)自動(dòng)化品牌產(chǎn)品種類眾多,我們可提供從獨(dú)立元件到全面集成的定制系統(tǒng)解決方案及工業(yè)備品備件選型服務(wù),每種解決方案都可以為客戶帶來(lái)高效的靈活性和附加值。我們是工業(yè)自動(dòng)化的全球合作伙伴;我們的目標(biāo)是可持續(xù)發(fā)展。我們的專業(yè)是自動(dòng)化;我們的使命是創(chuàng)新。我們的激情來(lái)自合作伙伴關(guān)系!誠(chéng)信為首、正品采購(gòu)、價(jià)格優(yōu)惠、品質(zhì)保障、體貼的服務(wù)為您提供安全、可靠、完善的售前、售后服務(wù),不斷追求更加卓越的企業(yè)品質(zhì),向?qū)I(yè)多元化的產(chǎn)品模式穩(wěn)步前進(jìn)。下文華聯(lián)歐小編將為您詳細(xì)講解有關(guān)《優(yōu)勢(shì)供應(yīng)SPORLAN流量控制器GP200系列》等內(nèi)容,歡迎您繼續(xù)閱讀,祝您生活愉快,謝謝~
GP200系列是一款完全壓力不敏感的基于壓力的質(zhì)量流量控制器,專為半導(dǎo)體制造中的先進(jìn)蝕刻和沉積工藝而設(shè)計(jì)。即使在輸送低蒸氣壓工藝氣體時(shí)也能提供準(zhǔn)確的工藝氣體輸送。降低了氣體輸送系統(tǒng)的復(fù)雜性和擁有成本,因?yàn)樗藢?duì)壓力調(diào)節(jié)器和傳感器等組件的需求。
性能特點(diǎn)
- 較低的入口壓力操作
- 下游閥結(jié)構(gòu)
- 匹配的瞬態(tài)響應(yīng)
- 零泄漏控制閥
- 本地顯示指示流量、溫度、壓力和網(wǎng)絡(luò)地址
- 通過(guò)消除匹配和補(bǔ)償兩個(gè)獨(dú)立壓力傳感器的要求,GP200 差壓技術(shù)降低了測(cè)量不確定性,從而提高了精度、可重復(fù)性和漂移性能。
- 由于 GP200 差壓傳感器專門針對(duì)低壓差測(cè)量進(jìn)行了優(yōu)化,現(xiàn)在使用 P-MFC 可以在較低的入口壓力下實(shí)現(xiàn)更安全的工廠操作。
- 下游閥門結(jié)構(gòu)確保精度獨(dú)立于下游壓力,使流量能夠在高達(dá) 1200 Torr 的壓力下輸送。快速關(guān)閉閥解決了非生產(chǎn)性配方等待時(shí)間或“尾部效應(yīng)”,這在上游 MFC 閥門設(shè)計(jì)中可見(jiàn),需要額外的時(shí)間來(lái)排出其內(nèi)部氣體體積。
- 快、高度可重復(fù)的上升和下降流動(dòng)穩(wěn)定時(shí)間可在先進(jìn)的高循環(huán)沉積和蝕刻工藝中實(shí)現(xiàn)更嚴(yán)格的工藝控制。
- 閥門關(guān)閉性能提高 100 倍
- 借助 MultiFlo TM,MFC 滿量程流量范圍通??梢园?3:1 的比例重新縮小,而不會(huì)影響規(guī)格的精度、量程比或泄漏,從而實(shí)現(xiàn)工藝和庫(kù)存靈活性
- 方便的用戶顯示和獨(dú)立的診斷/服務(wù)端口有助于設(shè)備安裝、監(jiān)控和故障排除
技術(shù)參數(shù)
性能:
- 流量范圍(滿量程):3 sccm - 50,000 sccm
- 準(zhǔn)確性:
零泄漏閥:<±1%S.P.(5-100%F.S.)
<±0.05%F。S.(0.5-5%F.S.)
金屬密封閥:<±1%S.P.(5-100%F.S.)
<±0.05%F。S.(2-5%F.S.)
- 可重復(fù)性:<±0.15%S.P.
- 響應(yīng)時(shí)間:280±20 ms匹配的瞬態(tài)響應(yīng),對(duì)于任何上升或下降的非零設(shè)定點(diǎn)
- 多氣和范圍可配置性:MultiFlo標(biāo)準(zhǔn)
- 控制范圍:
零泄漏閥:0.5-100%F.S。
金屬密封閥:2-100%F.S。
- 零穩(wěn)定性:<±0.15%F.S每年
- 流動(dòng)溫度系數(shù):
零:0.005%F.S 每°C
跨度:0.05%S.P.每°C
機(jī)械參數(shù):
- 密封材料:金屬
- 純度 /表面飾面:5µ inch Ra avg
- 接液材料:316L
Hastelloy C-22
316/316L Stainless Steel
304 Stainless Steel
KM-45
PCTFE
- 閥門選項(xiàng):通常關(guān)閉
- max溫度:60℃
- 壓差范圍:
min:7 psid
max:50 psid
詳細(xì)參數(shù)
產(chǎn)品應(yīng)用
深圳市華聯(lián)歐國(guó)際貿(mào)易有限公司是中國(guó)工業(yè)控制自動(dòng)化領(lǐng)域的貼心一站式服務(wù)商,專業(yè)從事各種國(guó)外中高端工控自動(dòng)化產(chǎn)品的采購(gòu)供應(yīng)貿(mào)易與配套服務(wù),主要經(jīng)營(yíng)來(lái)自歐洲,美國(guó),英語(yǔ)等國(guó)知名品牌的高端精密編碼器,傳感器,儀器儀表及各類自動(dòng)化產(chǎn)品,并與德國(guó),意大利,美國(guó),法國(guó),英國(guó),瑞典,瑞士等國(guó)家品牌供應(yīng)商之間建立了高效快捷的供貨渠道,竭力為國(guó)內(nèi)客戶提供最優(yōu)惠的價(jià)格,以及優(yōu)質(zhì)的售后服務(wù)。我公司主要供應(yīng)產(chǎn)品為:傳感器,編碼器,泵,閥,電機(jī),高低壓電氣,流體控制,控制元件等一些歐洲國(guó)家的中高端產(chǎn)品。以上介紹的就是今天華聯(lián)歐小編為大家準(zhǔn)備的有關(guān)《優(yōu)勢(shì)供應(yīng)SPORLAN流量控制器GP200系列》等文章內(nèi)容了,如果您今后還有任何的歐洲工業(yè)備品備件產(chǎn)品的需求或疑難備件采購(gòu),歡迎來(lái)電咨詢,我們會(huì)為您提供優(yōu)質(zhì)服務(wù)。